在設(shè)計臭氧發(fā)生器時應拒絕與含烴類、腐蝕性氣體發(fā)生反應，從而防止對設(shè)備造成危害或損壞的物質(zhì)。眾所周知，臭氧會與烴類物質(zhì)等發(fā)生化學反應，產(chǎn)生爆炸，為了確保設(shè)計的進行，應在設(shè)計前對烴類物質(zhì)進行分離。

設(shè)計臭氧發(fā)生器的材料碳氟化合物在分解時容易形成氟，產(chǎn)生的氟會侵蝕玻璃介電材料，使介電體加速損壞。因此在設(shè)計時應在介電體表面涂上一層漆類。由于這種涂層會降低臭氧生產(chǎn)的效率，并且還要注意防止小的干燥劑粉末或其他微粒進入發(fā)生器，以免影響電暈效率。

在進行臭氧發(fā)生器系統(tǒng)設(shè)計時，大量水進入到發(fā)生器內(nèi)會導致電暈集中等問題，造成介電體過早失效。除此之外，在進行臭氧發(fā)生器設(shè)計時冷卻水的水質(zhì)要好，防止結(jié)垢，以免影響發(fā)生器的散熱效果。